세메스는 반도체 제조용 고온 매엽인산 세정장비 ‘블루아이스 프라임’을 개발했다고 7일 밝혔다. 매엽식 인산 공정은 웨이퍼 상부에 170℃ 이상 고온 인산(H3PO4)을 토출해 패턴면을 처리한다. 식각 균일도를 확보하고 불순물을 제거하는 기술 확보가 어려워 상용화가 쉽지