국내 연구진이 반도체·디스플레이 제조 공정에서 품질을 낮추는 원인으로 지목돼 온 '플라즈마 이력(히스테리시스)' 현상을 해결했다. 학계가 50여년을 풀지 못한 고질화된 문제를 해결한 것으로, 각종 첨단 소자의...