차세대 반도체 시장에서 극자외선(EUV) 공정이 주목받고 있다. 7나노 EUV 광원을 이용한 삼성전자 AP(애플리케이션프로세서)가 양산되고, 이 광원을 활용한 5나노와 3나노 양산 공정도 수년 내 구현될 예정이다. 삼...